100 000 stofsuiweringsvlak
1. Die lugskoonheid van die skoon kamer moet soos volg getoets word
(1) Leë toestand, statiese toets
Leë toestand toets: Die skoon kamer is voltooi, die gesuiwerde lugversorgingstelsel is in normale werking, en die toets word uitgevoer sonder prosestoerusting en produksiepersoneel in die kamer.
Statiese toets: Die lugversorgingstelsel vir skoonkamersuiwering is in normale werking, die prosestoerusting is geïnstalleer en die toets word sonder produksiepersoneel in die kamer uitgevoer.
(Twee) dinamiese toets
Die skoon kamer is onder normale produksietoestande getoets.
Die opsporing van lugvolume, windspoed, positiewe druk, temperatuur, humiditeit en geraas in die skoon kamer kan uitgevoer word in ooreenstemming met die toepaslike regulasies van algemene gebruik en lugversorging.
Skoon kamer (area) lug skoonheid vlak tafel
| Netheid vlak | Maksimum toelaatbare aantal stofdeeltjies/m3≥0.5μmAantal stofdeeltjies | ≥5μmAantal stofdeeltjies | Maksimum toelaatbare aantal mikroörganismes Planktoniese bakterieë/m3 | Besinkende bakterieë/skottel |
| 100klas | 3 500 | 0 | 5 | 1 |
| 10 000klas | 350，000 | 2，000 | 100 | 3 |
| 100，000klas | 3，500，000 | 20，000 | 500 | 10 |
| 300，000klas | 10，500，000 | 60，000 | 1000 | 15 |
