Outomatiese temperatuur en humiditeit beheer
Die temperatuur en humiditeit van die skoon kamer word hoofsaaklik volgens die prosesvereistes bepaal, maar onder die voorwaarde dat aan die prosesvereistes voldoen word, moet die menslike gemak in ag geneem word.Met die toename in lugskoonheidsvereistes is daar 'n neiging dat die proses al hoe strenger vereistes ten opsigte van temperatuur en humiditeit stel.
Soos die bewerking akkuraatheid al hoe fyner word, word die vereistes vir die temperatuurskommelingsreeks al hoe kleiner.Byvoorbeeld, in die litografie-blootstellingsproses van grootskaalse geïntegreerde stroombaanproduksie, moet die verskil tussen die termiese uitsettingskoëffisiënt van glas en silikonwafel as die materiaal van die diafragma kleiner en kleiner wees.'n Silikonwafel met 'n deursnee van 100μm sal 'n lineêre uitsetting van 0.24μm veroorsaak wanneer die temperatuur met 1 graad styg.Daarom moet dit 'n konstante temperatuur van ±0,1 grade hê.Terselfdertyd word daar gewoonlik vereis dat die humiditeitswaarde laag is, want nadat 'n persoon gesweet het, sal die produk besoedel word, veral vir halfgeleierwerkswinkels wat bang is vir natrium, moet hierdie soort skoon werkswinkel nie 25 grade oorskry nie.
Oormatige humiditeit veroorsaak meer probleme.Wanneer die relatiewe humiditeit 55% oorskry, sal kondensasie op die wand van die koelwaterpyp voorkom.As dit in 'n presisietoestel of stroombaan voorkom, sal dit verskeie ongelukke veroorsaak.Dit is maklik om te roes wanneer die relatiewe humiditeit 50% is.Daarbenewens, wanneer die humiditeit te hoog is, sal die stof op die oppervlak van die silikonwafer chemies deur die watermolekules in die lug na die oppervlak geadsorbeer word, wat moeilik is om te verwyder.Hoe hoër die relatiewe humiditeit, hoe moeiliker is dit om die adhesie te verwyder, maar wanneer die relatiewe humiditeit laer as 30% is, word die deeltjies ook maklik op die oppervlak geadsorbeer as gevolg van die werking van elektrostatiese krag, en 'n groot aantal halfgeleiers toestelle is geneig tot onklaarraking.Die beste temperatuurreeks vir silikonwafelproduksie is 35 ~ 45%.
